無塵烘箱，百級無塵烘箱，自動化無塵烘箱

無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構(gòu)。
無塵烘箱特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生PARTICLE；
4.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計) 方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風(fēng)門)
5.溫度范圍： +60～ 200℃, 
6.溫度均勻度：±1.5%℃（空載測試）
7.工作室尺寸（mm）：W600×H550×D600*2
8.采用智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控  7〃TFT真彩觸摸薄屏 
　　　　　　  程式編輯：可預(yù)編120個程式，每個程式最大可編99段，共1200段
　　　　　　  歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出)
9.完善的安全保護措施：漏電保護//過熱保護  報警//電機保護  報警//門鎖， 工作時門自動鎖//異
常顯示(紅色警示燈)