無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking),曝光、顯影后的堅膜硬烘(Hard baking)等工藝,適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。
一.無塵烘箱特點(diǎn):
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵;
3.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產(chǎn)
生PARTICLE;
4.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計)
方向送風(fēng),過濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風(fēng)門)
5.溫度范圍: +60~ 200℃,
6.溫度均勻度:±1.5%℃(空載測試)
7.工作室尺寸(mm):W600×H550×D600*2
8.采用智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控 7〃TFT真彩觸摸薄屏
程式編輯:可預(yù)編120個程式,每個程式最大可編99段,共1200段
歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出)
9.完善的安全保護(hù)措施:漏電保護(hù)//過熱保護(hù) 報警//電機(jī)保護(hù) 報警//門鎖, 工作時門自動鎖//異
常顯示(紅色警示燈)