無氧烘箱 12寸晶圓烘箱 MES無氧箱
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一．概述：
無氧化烘箱，在工作時，工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧化烘箱在工業(yè)中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板……
二．產(chǎn)品技術參數(shù)
1.名稱及型號：無氧烘箱/烤箱/烘烤箱 QMO-500
2、主要技術指標：
2.1含氧量：< 20ppm，50ppm，100ppm,含氧量： <=5000ppm;
2.2溫度范圍： RT（室溫）+60～ +250℃；
2.3溫度均勻度：±1.5%;
2.4溫度波動度：±0.5℃（空載）
2.5溫控精度：±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動形式。
2.7工作尺寸：W800×H800×D800
2.8電源：380V 3φ 50HZ 8Kw
3、箱體結構：
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風道系統(tǒng)部分組裝而成，結構合理，外觀美觀大方；
3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機臺本身產(chǎn)生微塵；
3.3箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；
3.4內(nèi)膽材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘
烤時產(chǎn)生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊
密封加工(防污染)。
3.6保溫材料：硅酸鋁棉；
3.7夾層降溫：水冷降溫.(從250度降到60度預計50分鐘內(nèi)）
4、先進可靠的測控系統(tǒng)
4.1溫控裝置：智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控
10〃TFT真彩觸摸薄屏
程式編輯：可預編120個程式，每個程式最大可編99段，共1200段
歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導出)
溫度、含氧量曲線可同時顯示
4.2溫控輸出：SSR輸出，歐姆龍繼電器，固態(tài)繼電器
4.3含氧量分析儀：配國產(chǎn)含氧量分析儀（上海英盛ZO-802）。
4.4氮氣系統(tǒng)：Ｎ２流量計控制進氣量；入氣口:10mm；排氣口：φ100，位于箱體頂部，排氣可設定時間段。
5、完善的安全保護措施：漏電斷路器//超溫保護//欠相保護//馬達過載電流保護//機臺異常蜂鳴器警示
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