一.概述:
普遍應用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,模壓固烤、IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備件等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。
二、產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù):
1.產(chǎn)品名稱及型號:PI膠/BPO膠/BCB膠固化烤箱 AOL-216-PC
2.電源及功率:AC380V 3φ 50Hz,6Kw
3.規(guī)格:工作尺寸:W600×H600×D600
外形尺寸:W950×H1510×D1340
4.無塵等級:Class 100;
5.含氧量:40min達100ppm以下;(預留氧含量測試孔)
6.溫度范圍: 常溫~ +350℃;(客戶工藝需要長期在300℃以上運行)
7.溫度均勻度:±2% (空載)
8.升溫速度:>5℃/min ,升溫斜率可控,升溫速度可以通過加熱系統(tǒng)控制調(diào)節(jié)。
9.降溫:風冷夾層降溫,200℃~ 120℃,3.5度/分鐘,120℃~ 65℃約1.5度/分鐘。
10.電磁鎖:啟動設備運行中,電磁門鎖鎖門,運行未結(jié)束,人工不能開門。
三、箱體結(jié)構(gòu):
1.烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方。
2.全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機臺本身產(chǎn)生微塵。
3.箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵。
4.內(nèi)膽材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污 避免烘烤產(chǎn)生 PARTICLE。
5.中桶材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密加工(防污染)。
6.保溫材料:超細玻璃棉;
7.電熱器:采用進口覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無塵化電熱發(fā)生器。
8.潔凈度:烤箱內(nèi)部均采用無塵化配件及材料。
四、工作室的氣流設計:
1.采用特殊設計,滿足內(nèi)腔Class 100潔凈標準;
2.排氣口:3"φ(附自動啟閉風門),以達到強烈循環(huán)效果而降溫,排風加冷阱。
3.進氣口:加附N2流量計控制進氣量。入氣口:10mm
4.壓縮氣體過濾器,可把氣體過濾到CLASS 100,凈化氣體流量:300L/分鐘。
五、先進可靠的測控系統(tǒng)
溫控裝置:智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控(可聯(lián)網(wǎng),對接MES及SECSGEM)
10〃TFT真彩觸摸薄屏
程式編輯:可預編120個程式,每個程式最大可編99段,共1200段
歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導出)
三點溫度記錄
溫度測量:采用特制鍇裝鉑電阻
六、完善的安全保護措施:漏電斷路器//控制線路保險絲裝置//超溫防止保護裝置//欠相保護//電熱器過電流保護裝置//馬達電流過載保護//機臺異常時蜂鳴器警示//門安全開關(guān)//三色指示燈