無氧烘箱 PI膠烘箱 高溫無塵無氧烘箱
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普遍應用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位，主要做BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備等高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。 主要特點：箱體選用全陶瓷纖維保溫，具有升溫快、節(jié)能等特點，優(yōu)良的送風、排風系統(tǒng)，確保爐箱溫度均勻，吸風口玻纖過濾器，確保潔凈度的要求。 一、技術指標與基本配置： 1、潔凈度：Class100級 2、氧含量（配氧分析儀）： 高溫狀態(tài)氧含量：≤ 10ppm +氣源氧含量; 低溫狀態(tài)氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量 3、使用溫度：RT～400℃，最高溫度：450℃ 4、溫度均勻度：150℃±1.5%，350℃±2%以內(nèi)（空載測試）； 5、空爐升溫時間：1.5h； 6、空爐降溫時間：375℃--80℃；降溫時間1.5-3.5小時 (采用水冷及風冷)； 7、智能控制系統(tǒng)：日本歐姆龍PCL+PC工控電腦  
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