晶圓退火爐/半導體真空退火爐 AOL-100GV-HMI
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晶圓退火爐/半導體真空退火爐 AOL-100GV-HMI
工作尺寸(mm): W610×H650×D750
外形尺寸(mm): W1900×H2075×D1250
功率:14KW
性能特點:
◆ 智能控制系統(tǒng),PLC程序控制，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接，實現(xiàn)自動化烘烤，過程管理；
◆ 箱體周身做密閉氬弧焊接， 耐高溫硅膠迫緊；
◆ 特殊結構設計，含氧量：＜20PPM；
◆ 氧含量分析儀，可實時監(jiān)測氧含量；
◆ 安裝氮氣控制裝置，箱體可以接入氮氣，N2數(shù)字流量器，可實時監(jiān)控氮氣流量；
◆ SUS310＃不銹鋼無塵化電熱產生器，防機臺本身產生微塵；
◆ 無塵等級：Class 100
◆ 真空度：＜133Pa
技術參數(shù)：
1． 送風方式：強制送風循環(huán)。
2． 溫度范圍：+60～620℃。
3． 溫度波動：<±0.5℃。
4． 溫度均勻：200℃±3℃;350℃±4℃;600℃±7.5℃(空箱測試)
5. 升溫速度：常溫～600℃，升溫速率0～8℃/min以內
6. 降溫速度：500～360℃，1～2℃/min,360～200℃,5～1℃/min,200～125℃,3～1℃/min,125～
80℃,1～0.5℃/min，水冷+風冷降溫。
7． 控溫方式：訊號來源，采用K型 鉑電阻 感應棒±0.5%。
溫控裝置：歐姆龍PLC + 10寸工控電腦。
PC 內部記錄數(shù)據(jù)，使用 Excel 等常用軟件可以讀取，最短數(shù)據(jù)記錄間隔5S
歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導出)
系統(tǒng)記錄并處理各種烘箱異常事件。如：超溫，氮氣不足，含氧量超標、門未關到位
溫控輸出：SSR輸出
8. 氮氣控制裝置：氮氣流量計，N2數(shù)字流量器，可實時監(jiān)控氮氣流量。
9. 箱體材料：外部采用1.2mm厚度冷扎碳鋼板，經(jīng)防銹處理后靜電噴塑，耐劃傷。
10．內室材料：采用 2.0mm厚度SUS310優(yōu)質不銹鋼鋼板，周身做密閉氬弧焊接
11．保溫材料：120K級高密度硅酸鋁纖維；
12．電加熱器：覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無塵化U型管狀（不銹鋼SUS310#）電熱發(fā)生器。
13．保護裝置：漏電斷路器，超溫保護，開門氮氣自動中斷保護，馬達過載電流保護，N2流量動態(tài)監(jiān)
控，排風口壓力報警，工作期間門自動鎖閉
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