百級無塵烘箱 MES烘箱
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一．特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100 2.采用控智能控制系統(tǒng)，可對接MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集需求，實現(xiàn)過程化管理！操作智能方便! 3.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵； 4.采用2mm厚度SUS304#鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE； 5.采平面水平由后向前送風后經(jīng)高溫H.E.P.A Filter裝置往前門(特殊風道設(shè)計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門) 二．執(zhí)行與滿足標準 1.GB/T11158-1989高溫試驗箱技術(shù)條件 2.GB2423.2-1989試驗B 三．用途 無塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。 無塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。 無塵烘箱主要應(yīng)用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構(gòu)。 四．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù) 1.名稱及型號：無塵烘箱 COL-180-HMI 2.主要技術(shù)指標： 2.1無塵等級：Class 100; 2.2溫度范圍： 60～ +250℃； 2.3溫度均勻度：±1.5%;(空載） 2.4溫度波動度：±0.5℃（空載） 2.5溫控精度：±0.1℃; 2.6烘箱擱板為活動形式。 2.7工作尺寸：W600×D500×H600 2.8電源：380v,50Hz，6Kw 3、箱體結(jié)構(gòu)： 3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方； 3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機臺本身產(chǎn)生微塵； 3.3箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵； 3.4內(nèi)膽材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免 烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE； 3.5中桶材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬 焊密封加工(防污染)。 4、采用智能控制系統(tǒng),匯川/歐姆龍PLC 10〃TFT真彩觸摸薄屏 程式編輯：可預編120個程式，每個程式最大可編99段，共1200段 歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導出) 可對接MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集需求，實現(xiàn)過程化管理，操作智能方便! 5、完善的安全保護措施：漏電斷路器//控制線路保險絲裝置//超溫防止保護裝置//電熱過電流保護裝// 馬達過電流保護//機臺異常蜂鳴器警示//逆向防止器//門面安全開關(guān)//急停//OTP
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